Das kompakte optische 3D-Mess-System μ-surf-explorer ist ein Komplettpaket für die Messung und Analyse von Oberflächen. Der μ-surf-explorer beruht auf der bewährten μ-surf-Konfokaltechnik.
Dank seines robusten Aufbaus und seiner intuitiven Benutzerführung ist das flexible System sowohl für den wirtschaftlichen Einsatz im Test- und Prüflabor als auch in der Produktionsumgebung geeignet. Mit dem μ-surf-explorer lassen sich DIN EN ISO konforme Rauheitsbestimmungen, Analysen von 3D-Strukturen, Schichtdicken und Geometriemessungen im Mikro- und Nanometerbereich zuverlässig und wiederholgenau durchführen. Die μ-surf-Technologie wird bereits in zahlreichen Unternehmen erfolgreich eingesetzt. Darunter sind renommierte Firmen aus der Automobilindustrie, der Medizintechnik, der Mikroelektronik, der Druck- und Papierindustrie sowie eine Vielzahl von Forschungsinstituten.
Konfokaler Messkopf
Bildaufnahmemodul
High-Speed Progressive-Scan-Digitalkamera mit bis zu 55 fps, 512×512 Pixel, 10 bit, Firewire
Lichtquelle
Hochleistungs-LED (Wellenlänge 505 nm oder460 nm), MTBF: 50.000 h
Scanmodule
x,y-Positioniermodul MS 50
x,y-Präzisionsverfahrtisch, Verfahrweg: 50×50 mm, Auflösung: 0,3 μm
z-Positioniermodul MN 75
Präzisionsverstelleinheit, Verfahrweg: 75 mm, Auflösung: 0,2 μm
z-Messmodul NV 250
Optional: Schnelle Präzisionsverstelleinheit (Piezo), Messweg: 250 μm, Auflösung: < 10 nm, 500 μm Piezo auf Anfrage
Peripheriegeräte, Steuerung
Kompakter PC mit Intel Core Duo Prozessor, Windows 7, 4 GB RAM, Firewire, DVD-Brenner, Netzwerkkarte, 23“-TFT-Monitor, Funktastatur und -maus, 3D-Navigator
Granitstativ
440×260×320 mm (H×B×T) inkl. schwingungsabsorbierender Gerätefüße
Optikmodule
1600 S (10x)
800 S/XS (20x)
320 S (50x)
Messfeld (µm²)
1600 x 1600
800 x 800
320 x 320
Numerische Apertur
0,3
0,46/0,6
0,8
Arbeitsabstand (mm)
10,1
3,1/0,9
0,66
Auflösung in z-Richtung (nm)
20
5/4
2
Auflösung in x,y-Richtung (µm)
3,1
1,6
0,7
Allgemein
Optionales Zubehör
Vakuumplatte, Ebenheits-/Kalibriernormal, aktive Dämpfungsplatte, Tisch, Drucker
Datenformat
NMS, OMS, ACSII, SDF, TIF, BMP, MNT, SUR, X3P
Datengröße
Einzelmessung ca. 0,8 MB
Typische Messzeit
5–10 Sekunden
Probeneigenschaften
Max. Probenhöhe: 70 mm, Reflektivität: 1–100%, beschichtet, unbeschichtet, spiegelnd bis diffus
Vibration
Zusätzliche Dämpfung für die meisten Anwendungen nicht notwendig
Reinraumklasse
Tauglichkeitsklasse 6 (nach DIN EN ISO 14644)
Schutzklasse
IP 52
Energieversorgung
100–240 V, 50–60 Hz, Leistungsaufnahme <45 W
Gesamtgewicht
28 kg
